碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑為原料通過電阻爐高溫冶煉而成。包括黑碳化硅和綠碳化硅,其中:黑碳化硅是以石英砂,石油焦和優質硅石為主要原料,通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機械強度高于剛玉,性脆而鋒利。綠碳化硅是以石油焦和優質硅石為主要原料,添加食鹽作為添加劑,通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機械強度高于剛玉。
綠碳化硅晶體是目前碳化硅應用的新技術產品,具有寬帶隙、高臨界擊穿電場、高熱導率、低介電常數,高載流子飽和濃度等特點,成為耐高溫、大功率、耐高壓、抗輻照的半導體器件的優選材料,可以滿足現代電子器件對高溫、高頻、高工、高壓以及抗輻射的新要求,